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技術(shù)資料

等離子體發(fā)生器的放電原理

 

等離子體發(fā)生器的放電原理:

   利用外加電場或高頻感應(yīng)電場使氣體導(dǎo)電,稱為氣體放電。氣體放電是產(chǎn)生等離子體的重要手段之一。被外加電場加速的部分電離氣體中的電子與中性分子碰撞,把從電場得到的能量傳給氣體。等離子清洗機(jī)】

  電子與中性分子的彈性碰撞導(dǎo)致分子動(dòng)能增加,表現(xiàn)為溫度升高;而非彈性碰撞則導(dǎo)致激發(fā)(分子或原子中的電子由低能級躍遷到高能級)、離解(分子分解為原子)或電離(分子或原子的外層電子由束縛態(tài)變?yōu)樽杂呻娮樱?/span>

  高溫氣體通過傳導(dǎo)、對流和輻射把能量傳給周圍環(huán)境,在定常條件下,給定容積中的輸入能量和損失能量相等。【等離子PLASMA電子和重粒子(離子、分子和原子)間能量傳遞的速率與碰撞頻率(單位時(shí)間內(nèi)碰撞的次數(shù))成正比。

  在稠密氣體中,碰撞頻繁,兩類粒子的平均動(dòng)能(即溫度)很容易達(dá)到平衡,因此電子溫度和氣體溫度大致相等,這是氣壓在一個(gè)大氣壓以上時(shí)的通常情況,一般稱為熱等離子體或平衡等離子體。

  【真空等離子清洗機(jī)】在低氣壓條件下,碰撞很少,電子從電場得到的能量不容易傳給重粒子,此時(shí)電子溫度高于氣體溫度,通常稱為冷等離子體或非平衡等離子體。

兩類等離子體各有特點(diǎn)和用途(見等離子體的工業(yè)應(yīng)用)。氣體放電分為直流放電和交流放電。

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